通常安裝在真空室內(nèi),它是一個(gè)讀取真空室內(nèi)實(shí)際壓力的儀表,需要+24 VDC(可能為15 VDC)電源。EG301增強(qiáng)型對(duì)流壓力計(jì)具有3~10 VDC信號(hào)輸出,用于半導(dǎo)體工藝和真空設(shè)備。
輸入功率:+24伏直流電(可能15伏直流電)
輸出功率:+3 VDC至10 VDC
工作溫度:0~50℃
壓力范圍:2.0 X 10-4~760Torr
顯示窗口:7段LED
顯示單元:托爾(Torr)
安裝位置:水平
細(xì)絲:鉑99.999%
法蘭:NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF,1/4 VCR內(nèi)螺紋,CF法蘭
界面:模擬輸出,RS-485,2個(gè)設(shè)定點(diǎn)