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BMC可變形反射鏡DM系列

產(chǎn)品介紹

一種用于波前控制的多功能可變形反射鏡系統(tǒng)。

流行的Multi-DM系列以易于使用的包裝提供復(fù)雜的像差補(bǔ)償。這種類型的系統(tǒng)具有137或140個(gè)準(zhǔn)確控制的元件和低致動(dòng)器間耦合,非常適合廣泛的應(yīng)用,包括顯微鏡、天文學(xué)、視網(wǎng)膜成像和激光束成形。

MEMS 可變形反射鏡的架構(gòu)可實(shí)現(xiàn)當(dāng)今任何可變形反射鏡中快的響應(yīng)時(shí)間,并且精度僅受電子設(shè)備限制。我們的標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動(dòng)器可對(duì)整個(gè)范圍進(jìn)行14位控制,使我們的可變形反射鏡具有開箱即用的精度。如果需要更高的精度,可以使用更高的分辨率。

性能特點(diǎn)

設(shè)計(jì)概念簡單,但功能強(qiáng)大

技術(shù)參數(shù)

工作溫度:-10C – 30C

儲(chǔ)存溫度:-10C – 80C

相對(duì)濕度:< 30%RH

鏡面涂層:鋁、金或保護(hù)銀

窗口:可提供AR涂層

遲滯:無

步長:亞納米(平均值)

表面類型:連續(xù)(DM)

填充系數(shù):>99%

表面形貌:<20nm RMS

執(zhí)行器總數(shù):140

整個(gè)孔徑的致動(dòng)器計(jì)數(shù):12

物理行程(μm):5.5

波前行程 (µm):11.0

孔徑(毫米):4.95

間距(μm):450

產(chǎn)地:美國


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