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MOTT過(guò)濾器POU-015-S

產(chǎn)品介紹

莫特高純氣體過(guò)濾器可對(duì)低至0.0015μm的顆粒進(jìn)行9對(duì)數(shù)過(guò)濾,從而產(chǎn)生無(wú)顆粒氣體。為了大限度地提高氣體過(guò)濾效率、強(qiáng)度和可靠性,GasShield POU全金屬氣體過(guò)濾器是超高純(UHP)氣體輸送應(yīng)用的理想選擇。它們與大多數(shù)高純度電子級(jí)工藝氣體兼容。

性能特點(diǎn)

不銹鋼過(guò)濾介質(zhì)

技術(shù)參數(shù)

  • 操作條件:

max工作壓力:3750 psig(258.5 barg)

惰性氣體的highest工作溫度:450°C

max壓差:1000磅/平方英寸(68.9巴)

  • 材料:

五金件:316L SS

過(guò)濾介質(zhì):316L SS

潤(rùn)濕硬件表面光潔度:5 Ra,電拋光

  • 過(guò)濾器效率(對(duì)數(shù)折減值):

≥9 LRV(顆粒減少99.9999999%)。

根據(jù)SEMI F38-0699測(cè)試方法,確定最大穿透粒度為0.08μm

  • 顆粒去除尺寸:≥0.0015μm
  • 氦氣泄漏等級(jí):1 x 10-9 atm cc/sec
  • 水分貢獻(xiàn):根據(jù)SEMI F27測(cè)試方法,在低流量環(huán)境吹掃下1小時(shí)后<10 ppb
  • 總碳?xì)浠衔铮旱陀赟EMASPEC 90120396B測(cè)試方法的可檢測(cè)限值
  • 顆粒脫落:根據(jù)SEMI F43-0308試驗(yàn)方法,背景以上的顆粒貢獻(xiàn)為零(<1顆粒/ft³)
  • 產(chǎn)地:美國(guó)

產(chǎn)品應(yīng)用

用于半導(dǎo)體、LED、光伏和MEMS設(shè)備連接的超高壓氣體棒。閥門(mén)歧管箱、氣體柜、工具隔離氣體箱、車(chē)載氣體輸送箱中的超高壓過(guò)濾或任何需要超高純度顆粒去除的工藝。


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