用于激光故障注入的S-LMS顯微鏡站是集成電路安全評(píng)估的高精度平臺(tái)。它允許將激光點(diǎn)聚焦在芯片上并通過(guò)背面掃描樣品,以評(píng)估電子元件的安全級(jí)別。S-LMS顯微鏡允許注射、聚焦和掃描一個(gè)激光點(diǎn)至1米的點(diǎn)大小,同時(shí)用紅外攝像機(jī)從背面觀察樣品。
980 和/或 1064 nm 的單模激光
脈沖亞納秒到連續(xù)波
時(shí)間精度 <8 ps
頻率高達(dá) 250 MHz
>92% 透射率
同軸紅外視覺(jué)
可以由Python控制和驅(qū)動(dòng)
光電發(fā)射選項(xiàng)
激光熱刺激選項(xiàng)
esDynamic軟件平臺(tái)
單模光纖激光器
|
PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
脈沖持續(xù)時(shí)間 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
從1.5納秒到連續(xù)波 |
峰值功率 |
高達(dá)3.2瓦 |
高達(dá)10瓦 |
波長(zhǎng) |
980納米;1064牛米 |
980納米;1064牛米 |
重復(fù)率 |
從單發(fā)到250兆赫 |
從單發(fā)到250兆赫 |
命令接口 |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
TTL/LVTTL /軟件& dlls |
光束質(zhì)量 |
單模 |
單模 |
InGaAs 紅外相機(jī)
Captor |
640x512 µm |
動(dòng)態(tài)量程 |
140 dB |
接口 |
USB(包含軟件) |
電學(xué)
電壓 |
220 V/110 V |
電流 |
16 A |
自動(dòng)位置調(diào)節(jié)系統(tǒng)
軸數(shù) |
3 |
行程范圍 |
52 mm |
分辨率 |
0.315 µm |
重復(fù)性 |
+/- 0.8 µm |
速度(max.) |
20 mm/s |
故障注入
光發(fā)射
熱刺激