FORMFACTOR手動(dòng)探針系統(tǒng)PM8

FormFactor 的 Cascade PM8 手動(dòng)探針系統(tǒng)旨在為高達(dá) 200 mm 的分析探測(cè)應(yīng)用提供高度穩(wěn)定、符合人體工程學(xué)和靈活的探測(cè)平臺(tái)，例如器件和晶圓表征、故障分析 (FA)、RF/mmW/sub-THz探測(cè)和 MEMS。創(chuàng)新的精細(xì)滑動(dòng)卡盤(pán)平臺(tái)提供大范圍粗動(dòng)和微米級(jí)微動(dòng)，

簡(jiǎn)化測(cè)量?；◢弾r板可以承受任何熱或機(jī)械影響，并確保完整的系統(tǒng)穩(wěn)定性。PM8 的堅(jiān)固結(jié)構(gòu)非常適合所有高達(dá)亞太赫茲范圍的射頻應(yīng)用，由 WinCal XE 校準(zhǔn)軟件支持，包括 LRRM、LRM+、NIST 風(fēng)格的 TRL 和混合校準(zhǔn)方法。

獨(dú)特的可移動(dòng)顯微鏡橋選件可輕松且符合人體工程學(xué)地對(duì)高達(dá) 200 毫米的觀察系統(tǒng)進(jìn)行粗調(diào)和微調(diào)，從而使所有 FA 和檢測(cè)任務(wù)以及晶圓級(jí)可靠性 (WLR) 測(cè)試變得容易。PM8 可以使用各種附件進(jìn)行升級(jí)，例如用于 FA 應(yīng)用的激光切割機(jī)和遙控手動(dòng)定位器，以及用于校準(zhǔn)基板和拋光墊的特殊設(shè)計(jì)的卡盤(pán)，用于高頻應(yīng)用。探針卡可以很容易地用于測(cè)試，并且可以通過(guò)少的設(shè)置調(diào)整來(lái)測(cè)試封裝的部件。

• 力學(xué)

高穩(wěn)定性花崗巖底座

X 軸和 Y 軸的獨(dú)立粗略移動(dòng)，結(jié)合低至亞微米范圍的輕松微調(diào)

1 µm 可重復(fù)分離行程

高測(cè)量精度和可重復(fù)性

快速導(dǎo)航和高精度探頭定位

• 高靈活性

可針對(duì) DC、RF、mmW、FA、WLR 等重新配置

多種附件：熱卡盤(pán)、電動(dòng)顯微鏡和定位器、暗盒等

40 毫米壓板高度可調(diào)

升級(jí)路徑以滿(mǎn)足您未來(lái)的需求

晶圓和封裝測(cè)試之間的快速轉(zhuǎn)換

• 便于使用

低調(diào)、簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)

簡(jiǎn)單且符合人體工程學(xué)的操作

• 雙面選項(xiàng)

正面或背面儀器，例如：積分球、光纖設(shè)置、壓力模塊

正面或背面探測(cè)能力

訪問(wèn)被測(cè)設(shè)備 (DUT) 的頂部和底部

高精度光測(cè)量

PS-ACC-HDTV：

兼容 EPS200MMW、EPS200RF、PM8-COAX-PCKG、PM8-COAX-HR-PCKG 和 PM8-FA-PCKG 的 C 接口數(shù)字電視選項(xiàng)