截止閥的主要要求是其對任何回流事件的可靠和快速的緊急隔離。257旨在提供靈敏的高速隔離功能,可靠地防止回流到制程腔體或管道系統(tǒng)的風險。
25.7 HV 快速關(guān)閉閥是流量控制的。沒有任何子系統(tǒng)(傳感器和執(zhí)行器)的直接操作設(shè)計提供了高速隔離,具有低復雜性和低故障風險。從最初的回流脈沖到完全隔離不到 10 毫秒。
作為一種解決方案,截止閥不給系統(tǒng)增加電導屏障。25.7 的特殊流量優(yōu)化設(shè)計在這方面樹立了標準,在高電導和快速隔離之間實現(xiàn)了平衡。
在氣流中有副產(chǎn)品的工藝中使用時,例如:在前級應用中,快速關(guān)閉閥上的任何污染物積累都會降低電導,并可能對其隔離能力產(chǎn)生負面影響。這一與工藝相關(guān)的挑戰(zhàn)通過一種特殊的表面涂層來解決,該涂層可顯著減少大多數(shù)副產(chǎn)品的積累。額外的加熱選項可用于避免閥門表面的工藝氣體冷凝。
25.7 HV 快速關(guān)閉閥的尺寸為 DN 50 - 160mm (2“ - 6”)。 閥體由不銹鋼制成。DN63 至 DN160 (2½“ - 6”) 的標準法蘭為 ISO-K,DN50 (2“) 的標準法蘭為 ISO-KF。
對于具有非常腐蝕性過程氣體的應用,可以使用 FFKM 密封件。