12.1 閘閥配備了 VATLOCK 技術(shù),該技術(shù)專門開發(fā)用于提供可靠的密封而沒有任何摩擦,從而避免了顆粒的產(chǎn)生。
12.1 系列已安裝在各種工藝條件下的數(shù)千種苛刻應用中,證明了其可靠性。它已成為壓力范圍高達 < 10-7 mbar 的真空隔離的標準解決方案,例如與渦輪分子泵有關(guān)。憑借堅固的設計和直接安裝選項,以及由于其分體式機身而減少且易于維護,12.1 系列輕松滿足所有標準要求。驅(qū)動、法蘭連接或附加真空端口的各種設計選項使其易于集成到任何真空應用中。