ONTO光刻系統(tǒng)JetStep G45

JetStep G45 系統(tǒng)可滿足移動顯示行業(yè)的苛刻要求。該系統(tǒng)基于成熟的步進技術(shù)，將優(yōu)化的性能與良好的擁有成本相結(jié)合。JetStep G45 系統(tǒng)在 >200mm 的視場直徑范圍內(nèi)具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光學(xué)結(jié)合高速運動使系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)<0.5μm的覆蓋。JetStep G45 系統(tǒng)放大光學(xué)器件允許使用 6 英寸標(biāo)線片（掩模），與競爭技術(shù)相比，顯著降低了加工成本。此外，該系統(tǒng)占地面積小，可大限度地降低設(shè)施成本，其無摩擦運動可減少磨損，從而降低維護成本。綜合節(jié)省導(dǎo)致成本低廉的制造過程，降低了資本支出和擁有成本 (COO)。 

• 自動放大控制增加了工藝窗口
• 板載標(biāo)線管理系統(tǒng)提供大利用率
• 用于現(xiàn)場校準(zhǔn)的機載計量包
• 在每個曝光位置進行動態(tài)自動對焦，以自動調(diào)整面板拓撲上的焦點
• 提供系統(tǒng)性能和故障排除反饋的板載診斷

• 分辨率達 1.5µm 的高保真投影鏡頭和照明系統(tǒng)
• 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的 6 英寸光罩格式，用于經(jīng)濟的制造