HP-5系列濕度探頭是測(cè)量集成系統(tǒng),在一個(gè)通用設(shè)計(jì)中結(jié)合了吸附式濕度傳感器 - 電容式與氧化物(HS 2 Al 和 HS 2 Si)或聚合物電介質(zhì)(HC 1000、FE 09/1000和 MK 33). 傳感器焊接到探頭底座的真空通道上。它由標(biāo)準(zhǔn)的燒結(jié)青銅帽保護(hù)。濕度傳感器電容的變化通過(guò)測(cè)量探頭的電子換能器的混合集成電路轉(zhuǎn)換為頻率信號(hào)周期的變化。
HC 1000 約為 58 至 47 kHz
FE 09/1000 約為 22.5 至 18.5 kHz
MK 33 約為 83 至 74 kHz
-30 至 +120°C 用于 HC 1000、MK 33 和 FE 09/1000(參見(jiàn)工作圖)和 HS 2 Si
-30 至 +60°C 用于傳感器 HS 2 Al