BOC EDWARDS低溫泵ON-BOARD IS 320FX

On-Board IS 320FX 低溫泵專為應對當今離子注入工藝的挑戰(zhàn)而開發(fā)，可提供更高的氫氣泵送速度和容量，同時保持您對 On-Board的所有質量、性能和可靠性優(yōu)勢 IS 320FE 低溫泵。On-Board IS 320FX 低溫泵旨在提供高的氫氣真空抽速和容量，以提高產品產量和工具產量。 基于 Edwards 廣泛的低溫泵設計知識，該低溫泵優(yōu)于所有其他同等尺寸的泵，同時符合嚴格的準則。智能系統控制提供更好的工藝質量、真空一致性和正常運行時間，同時提供實時系統知識以優(yōu)化電機速度和低溫溫度。針對不斷變化的熱/氣體負載條件的自動調整增強了真空一致性并縮短了晶圓間的恢復時間。On Board IS 320FX 還可以針對工藝相關涂層的堆積進行調整，而不會影響可靠性或生產力。 

• 專為離子注入應用而設計
• 智能自調節(jié)技術
• 擁有成本更低
• 增加正常運行時間

• 氫氣容量:30L /40L
• 分頻器：300 Torr-L
• ISO 真空法蘭內徑：12.6 英寸（320 毫米）